金相顯微鏡改進(jìn)方法
金相顯微鏡的改進(jìn)主要有以下幾點(diǎn):
普遍采用無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)
物鏡按照無限遠(yuǎn)象距進(jìn)行設(shè)計(jì)而不是象常規(guī)物鏡那樣按照有限象距進(jìn)行設(shè)計(jì),這種光學(xué)系統(tǒng)稱為無限遠(yuǎn)色差和象差校正的光學(xué)系統(tǒng)或簡(jiǎn)稱無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng).使用這種光學(xué)系統(tǒng)時(shí),當(dāng)入射光從試樣表面反射再次進(jìn)入物鏡后,并不收斂而是保持為平行光束,直到通過鏡筒透鏡后才收斂并形成中間象,即一次放大實(shí)象,然后才供目鏡再次放大.無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是顯微鏡中的各種光學(xué)附件(如暗視場(chǎng)光束分離器、偏振光分離器、用于微差干涉襯度)的棱鏡、檢偏振鏡,以及其它附加濾色鏡等)都可以放置在物鏡凸緣與鏡簡(jiǎn)透鏡之間平行光束的空間,由于成象光束沒有受到上述光學(xué)附件的干擾,物象的質(zhì)量不會(huì)受到損害,從而簡(jiǎn)化了物鏡設(shè)計(jì)中色差和象差的校正.此外,在無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)中,鏡筒長(zhǎng)度系數(shù)保持為一,無論物鏡與目鏡之間的距離有多遠(yuǎn),也不需要一個(gè)固定的中轉(zhuǎn)透鏡系統(tǒng)。德國(guó)、日本的公司生產(chǎn)的金相顯微鏡均已先后采用無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì).
同焦面性設(shè)計(jì)
在新型顯微鏡中,更換物鏡及目鏡后不須重新調(diào)焦,一般只需略微調(diào)節(jié)微調(diào)旋鈕,就可以使物象準(zhǔn)確聚焦.為此,物鏡和目鏡的光學(xué)機(jī)械尺寸應(yīng)滿足同焦面性的要求,即:①所有物鏡的共軛距離(即從試樣表面到物鏡初次放大實(shí)象象面之間的距離)相等:②所有物鏡初次放大實(shí)象到目鏡鏡筒口的距離不變;③所有目鏡的焦面與物鏡初次放大實(shí)象的象面重合.同焦面性并不是物鏡或目鏡的一個(gè)固有特性,而是在新型顯微鏡的設(shè)計(jì)中為了便于使用者的操作而采取的一種措施.
對(duì)顯微鏡有效放大倍數(shù)的再認(rèn)識(shí)
顯微鏡的有效放大倍數(shù)(M)與物鏡數(shù)值孔徑(NA)的關(guān)系可以表示為:550NA<M<1100NA>;,長(zhǎng)期以來,顯微鏡使用者一直遵循這一關(guān)系式.但是,VanderVoort在其所著《金相學(xué)——原理與實(shí)踐》一書中指出,上式是在用理想的眼睛觀察具有理想反差物象的條件下推導(dǎo)出的,因此不要當(dāng)做教條來遵循.實(shí)際上,分辨率不僅與物鏡的分辨率有關(guān),而且還與物象的反差有關(guān).此外,照明條件、放大倍數(shù)、物鏡質(zhì)量,以及觀察條件都會(huì)影響物象的反差,因而也會(huì)影響分辨率.他指出,為了獲得較高分辨率,較低有效放大倍數(shù)應(yīng)當(dāng)是好條件下的4倍左右,即M≈2200NA;同時(shí),使用4000×或更高放大倍數(shù)的顯微照片也是完全合理的.
平場(chǎng)消色差物鏡
現(xiàn)今新型顯微鏡已經(jīng)普遍使用平場(chǎng)消色差物鏡,甚至還可以配置更高級(jí)的平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡.老式物鏡初次放大實(shí)象的直徑只有18mm~20mm,而平場(chǎng)消色差物鏡則規(guī)定高度校正的初次放大平面象的直徑為28mm,即象場(chǎng)面積增大了一倍,并使象場(chǎng)彎曲得到了很好的校正.
高倍干物鏡
為了便于觀察高倍顯微組織,現(xiàn)今顯微鏡一般均備有高倍干物鏡.例如nikon公司生產(chǎn)的EPIPHOT300型金相顯微鏡(圖1)配置有放大100×、150×、200×的CFPlanApoEPI型干物鏡,其NA值均為0.95.盡管干物鏡的分辨率明顯低于油浸物鏡(100×油浸物鏡的NA值一般可達(dá)1.40),但由于簡(jiǎn)化了操作并使試樣免于被油污染,已獲得更為廣泛的使用。
廣視場(chǎng)目鏡
廣視場(chǎng)目鏡的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是場(chǎng)光闌顯著增大,一般為22mm~26.5mm(老式目鏡的場(chǎng)光闌直徑只有16mm),充分利用了平場(chǎng)物鏡擴(kuò)大了的象場(chǎng)面積.
此外,有的顯微鏡還配置有高眼點(diǎn)目鏡,使眼睛有缺陷(如散光)的人可以戴著眼鏡進(jìn)行觀察,物象的質(zhì)量可以免受眼睛缺陷的影響.由于平場(chǎng)消色差物鏡和廣視場(chǎng)目鏡的推廣使用,使顯微組織觀察的視域擴(kuò)大了許多,這也相應(yīng)提高了對(duì)顯微鏡載物臺(tái)加工精度和試樣制備質(zhì)量的要求.
長(zhǎng)工作距離物鏡
有些顯微鏡生產(chǎn)廠商還推出一些工作距離較長(zhǎng)的物鏡,這是為了適應(yīng)生產(chǎn)檢驗(yàn)或特殊需要(例如高溫臺(tái))而設(shè)計(jì)的.通常情況下,物鏡的放大倍數(shù)越高,工作距離(即物象聚焦時(shí),物鏡接物透鏡與試樣之間的距離)越短,為了避免物鏡因工作中不慎觸及試樣或受熱而損壞,于是就設(shè)計(jì)了這種特殊物鏡.例如nikonEPIPHOT300型金相顯微鏡的物鏡系列中就有50×和100×兩個(gè)工作距離分別為8.7mm和2.0mm的長(zhǎng)工作距離物鏡,其NA值分別為0.55和0.8;又如olympusGX系列顯微鏡也可配50×和100×工作距離分別為10.6mm和3.4mm的長(zhǎng)工作距離物鏡,其NA值分別為0.55和0.8,而50×和100×普通物鏡的工作距離則分別只有0.54mm和0.3mm,但是其NA值則分別為0.8和0.95.可以看出,長(zhǎng)工作距離物鏡的數(shù)值孔徑即分辨率有所下降,不過成像質(zhì)量仍然不錯(cuò).
多功能緊湊設(shè)計(jì)
在人們的印象中,只有大型臥式顯微鏡才是功能齊全的高級(jí)設(shè)備.但是,現(xiàn)今生產(chǎn)的顯微鏡(包括高級(jí)研究型)基本上都采用緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)并使用先進(jìn)的平場(chǎng)消色差物鏡或平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡以及廣視場(chǎng)目鏡.有的顯微鏡還配有電動(dòng)控制的物鏡回轉(zhuǎn)頭,只需按下按鈕,所需的物鏡就會(huì)自動(dòng)旋入光程,孔徑光闌和視場(chǎng)光闌的大小也能隨著物鏡的更換自動(dòng)進(jìn)行調(diào)整.照明方式則有明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、偏振光、微差干涉襯度(DIC)等四種常用的照明方式,而且照明方式的變換也極為簡(jiǎn)便.此外,觀察到的物象也是正置而不是反置,使物象的移動(dòng)方向與載物臺(tái)的移動(dòng)方向一致,大大便利了操作.圖1所示的臺(tái)式顯微鏡具有低載物臺(tái)設(shè)計(jì),載物臺(tái)的萬向節(jié)操縱手柄使載物臺(tái)能非常方便地沿x軸和y軸方向來回移動(dòng).當(dāng)照明方式在明視場(chǎng)與暗視場(chǎng)之間變換時(shí),孔徑光闌的調(diào)整由內(nèi)置的連動(dòng)裝置自動(dòng)完成.有40種以上放大倍數(shù)從1.5×到200×的物鏡可供選用,無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)的每一個(gè)光學(xué)元件都單獨(dú)地進(jìn)行了色差校正,從而保證獲得清晰的物象.各種測(cè)量標(biāo)尺均放置在初次放大實(shí)象位置,因此,始終保持聚焦,不受試樣表面形貌的影響.2.5×連續(xù)變倍裝置(從0.8×到2.0×,物象始終保持清晰)可用于觀察和顯微照相,當(dāng)旋鈕調(diào)到1.0×,1.25×,1.5×處時(shí),還可以聽到喀噠停頓聲.圖2所示的顯微鏡是一種先進(jìn)的研究型顯微鏡,1×~2×連續(xù)變倍裝置不僅可用于觀察,而且可用于所有的接口.圖3為Carlzeiss公司生產(chǎn)的Axiovert40MAT型倒置式金相顯微鏡,適用于繁忙的材料實(shí)驗(yàn)室的質(zhì)量檢驗(yàn)、材料分析、金屬加工工藝分析、材料研制等項(xiàng)工作,以及玻璃和塑料工業(yè)、研究機(jī)構(gòu)和學(xué)校教學(xué)使用.該顯微鏡堅(jiān)固的載物臺(tái)可以放置比較重的大零件,并備有長(zhǎng)工作距離物鏡. Carlzeiss公司生產(chǎn)的Axiovert200MAT型倒置式金相顯微鏡,這是一種專業(yè)型高端產(chǎn)品,顯微鏡鏡體可以在手工操作和電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)兩類中挑選.如果選用后者,則物鏡的更換和調(diào)焦、載物臺(tái)移動(dòng)等操作均可通過相應(yīng)的按鈕迅速完成.根據(jù)無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的物鏡可使物象具有優(yōu)異的反差;具有高數(shù)值孔徑的長(zhǎng)工作距離物鏡,既便于操作,又能獲得高分辨率組織.該顯微鏡還利用新研制的"全干涉襯度"(TIC)光學(xué)方法測(cè)量顯微組織中的階狀高度,其精度可達(dá)20nm;還有將圓偏振光代替?zhèn)鹘y(tǒng)的線偏振光用于DIC,即"圓DIC"(C-DIC)技術(shù),使原來只能在一定取向才能看到的組織變?yōu)榭梢钥吹狡淙捕c取向無關(guān)并與載物臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)位置無關(guān). 顯微照相和圖象分析走進(jìn)了數(shù)字化時(shí)代 顯微鏡的內(nèi)置照相裝置或外置照相附件既可以使用35mm膠卷,也可以使用大尺寸膠片或一次成象感光器材,不過35mm膠卷更為經(jīng)濟(jì)和便捷,從而獲得更加廣泛的使用,數(shù)字成象系統(tǒng)也逐漸用于顯微照相,它可以很容易地將數(shù)字化的圖象儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)內(nèi),也可以隨時(shí)將其打印成照片或通過電子郵件傳遞,免除了暗室操作. 有了圖象分析軟件,還可以將數(shù)字化圖象經(jīng)過圖象處理后,按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行定量分析,如晶粒度測(cè)定、鍍層或涂層厚度測(cè)定、孔隙度測(cè)定等.隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的進(jìn)步和軟件的完善,圖象分析也會(huì)越來越方便、迅速、精確.利用圖象處理軟件,還可以將多個(gè)相鄰視場(chǎng)的數(shù)字化圖象拼接成一整幅視場(chǎng)寬廣的清晰圖象,而且?guī)缀蹩床怀鼋涌p的痕跡,對(duì)于一個(gè)高水平的操作系統(tǒng),這一操作可以在數(shù)秒鐘內(nèi)完成. 但是,隨著數(shù)字化圖象應(yīng)用的迅速普及,也帶來一個(gè)令人憂慮的問題,這就是顯微組織照片的"作假"問題.利用圖象處理軟件對(duì)金相組織進(jìn)行"修理"、甚至"移花接木"已經(jīng)不是一件難事,但是這樣做卻完全違背了"金相組織應(yīng)當(dāng)能如實(shí)反映試樣真實(shí)組織"的重要原則,弄不好還可能造成嚴(yán)重的事故,這一憂慮應(yīng)當(dāng)不是"聳人聽聞".